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主营: 光刻胶

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第7年 |    
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NR74g 3000PY光刻胶报价*** 赛米莱德

发布时间:2022-03-23 03:10:00        作者:赛米莱德







政策扶持

为促进我国光刻胶产业的发展,国家02重大专项给予了大力支持。今年5月,02重大专项实施管理办公室组织任务验收组、财务验收组通过了“极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”项目的任务验收和财务验收。

据悉,经过项目组全体成员的努力攻关,完成了EUV光刻胶关键材料的设计、制备和合成工艺研究、配方组成和光刻胶制备、实验室光刻胶性能的初步评价装备的研发,达到了任务书中规定的材料和装备的考核指标。项目共申请发明15项(包括国际5项),截止到目前,共获得授权10项(包括国际授权3项)。目前,半导体市场上主要使用的光刻胶包括g线、i线、KrF、ArF四类光刻胶,其中,g线和i线光刻胶是市场上使用量较大的。


光刻工艺主要性一

光刻胶不仅具有纯度要求高、工艺复杂等特征,还需要相应光刻机与之配对调试。一般情况下,一个芯片在制造过程中需要进行10~50道光刻过程,由于基板不同、分辨率要求不同、蚀刻方式不同等,不同的光刻过程对光刻胶的具体要求也不一样,即使类似的光刻过程,不同的厂商也会有不同的要求。正性光刻胶树脂是一种叫做线性酚醛树脂的酚醛甲醛,提供光刻胶的粘附性、化学抗蚀性,当没有溶解存在时,线性酚醛树脂会溶解在显影液中,感光剂是光敏化合物,***常见的是重氮萘醌(DNQ)。

针对不同应用需求,光刻胶的品种非常多,这些差异主要通过调整光刻胶的配方来实现。因此,通过调整光刻胶的配方,满足差异化的应用需求,是光刻胶制造商***的技术。

此外,由于光刻加工分辨率直接关系到芯片特征尺寸大小,而光刻胶的性能关系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效应。光刻分辨率与曝光波长、数值孔径和工艺系数相关。



光刻胶编码

HS编码:


3707100001 [类注] | [章注] | [子目注释]

中文描述: 不含银的感光乳液剂 (CIQ码:301:液体)
英文描述: Non--0--silver light-sensitive emulsion agent
申报要素: 0.品牌类型;1.出口享惠情况;2.用途;3.包装;4.成分;5.是否含银;6.品牌;7.型号;8.是否有感光作用(以下要素仅上海海关要求)9.GTIN;5,显影液在已经曝光的硅衬底胶面喷淋显影液,或将其浸泡在显影液中,正胶是曝光区、而负胶是非曝光区的胶膜溶入显影液,胶膜中的潜影显现出来,形成三维图像。10.CAS
申报要素举例: / 1.感光剂;2.用途:感光材料,用于喷墨制版机;3.包装:瓶装;4.成分:重氮树脂94%以上;5.无品牌;6.无型号
单位: 千克


NR9-3000PY

11.请教~有没有同时可以满足RIE

process 和Lift-off

process的光阻,谢谢!

A 我们推荐使用Futurrex

NR1-300PY来满足以上工艺的需求。

12.Futurre光刻胶里,有比较容易去除的负光阻吗?

A NR9-系列很容易去除,可以满足去胶需要。

13.我们目前用干膜做窄板,解析度不够,希望找到好的替代光阻?

A NR9-8000因为有很高的AR比例,适合取代,在凸块的应用上也有很大的好处。

14.传统的Color

filter 制程,每个颜色的烘烤时间要2-3个小时,有没有更快的方法制作Coior

filter?

A 用于Silylation制程------烘烤时间只需要2分钟,同时光阻不需要Reflow, 颜色也不会老化改变,只需要在Filter上面加热溶解PR1-2000S光阻,Microlenses就能形成!

15.请问有专门为平坦化提供材料的公司吗?

A 美国Futurrex公司,专门生产应用化学品的,可以为平坦化的材料提供PC3-6000和PC4-1000都是为平坦化用途设计,台湾企业用的比较多。

16.我需要一种可用于钢板印刷的方式来涂布PROTECTIVE

COATING,那种适合??

A 推荐美国Futurrex,PC4-10000。

17.腊是用来固定芯片的,但很难清洗干净,哪里有可以替代的产品介绍下,谢谢?

A 我们公司是使用Futurrex

PC3-6000,可以替代的,而且去除比较容易,你可以试用下。

18.请问有没有100微米厚衬底为镀镍硅并可用与MEMS应用的光刻胶吗?

A NR4-8000P可以做到140微米的厚度,并在镀镍的衬底上不会出现难去胶的问题,如果是其他非镀镍衬底NR9-8000P是适合的选择。

19.谁有用在光波导图案的光刻胶?是否可以形成角度为30度的侧壁?

A 你必须实现通过逐步透光来实现掩膜图案棱的印刷,NR4-8000P是专门为光波导图案应用进行设计的产品。


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