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发布时间:2021-12-03 01:39:00 作者:赛米莱德
美国Futurrex的光刻胶
北京赛米莱德贸易有限公司供应美国Futurrex新型lift-off光刻胶NR9-3000PY,此款负胶的设计适用于比较宽的波长范围和i线(366纳米)曝光工具。当显影后显示出负的侧壁角度,是lift-off工艺中比较简易的光刻胶。和其他胶相比NR9i-3000PY有下面的优势: 1. 比较高的光刻速度,可以定制光刻速度来曝光产量 2. 比较高的分辨率和快的显影时间 3. 根据曝光能量可以比较容易的调整侧壁角度 4. 耐温可以达到100摄氏度 5. 用RR5去胶液可以很容易的去胶 NR9-3000PY的制作和工艺是根据职业和环境的安全而设计。主要的溶剂是,NR9-3000PY的显影在水溶液里完成。今年5月,02重大专项实施管理办公室组织任务验收***组、财务验收***组通过了“极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”项目的任务验收和财务验收。属固含量(%):31-35 主要溶剂: 外观: 浅液体涂敷能:均匀的无条纹涂敷 100摄氏度热板烘烤300秒后膜厚涂敷自旋速度 40秒自旋。
光刻的工序
下面我们来详细介绍一下光刻的工序:
一、清洗硅片(Wafer Clean)
清洗硅片的目的是去除污染物去除颗粒、减少其它缺陷,提高光刻胶黏附性
基本步骤:化学清洗——漂洗——烘干。
自1970年美国RCA实验室提出的浸泡式RCA化学清洗工艺得到了广泛应用,1978年RCA实验室又推出兆声清洗工艺,近几年来以RCA清洗理论为基础的各种清洗技术不断被开发出来,例如:美国FSI公司推出离心喷淋式化学清洗技术、美国原CFM公司推出的Full-Flow systems封闭式溢流型清洗技术、美国VERTEQ公司推出的介于浸泡与封闭式之间的化学清洗技术(例Goldfinger Mach2清洗系统)、美国SSEC公司的双面檫洗技术(例M3304 DSS清洗系统)、 日本提出无药液的电介离子水清洗技术(用电介超纯离子水清洗)使抛光片表面洁净技术达到了新的水平、以HF / O3为基础的硅片化学清洗技术。光刻胶编码HS编码:3707100001[类注]|[章注]|[子目注释]中文描述:不含银的感光乳液剂(CIQ码:301:液体)英文描述:Non--0--silverlight-sensitiveemulsionagent申报要素:0。
PR1-1500A1NR94 8000PY光刻胶报价
6,坚膜
坚膜也叫后烘,是为了去除由于显影液的浸泡引起胶膜软化、溶胀现象,能使胶膜附着能力增强,康腐蚀能力提高。
坚膜温度通常情况高于前烘和曝光后烘烤的温度 100-140度 10-30min
7,显影检验
光刻胶钻蚀、图像尺寸变化、套刻对准不良、光刻胶膜损伤、线条是否齐、陡
小孔、小岛。
NR9-3000PY 相对于其他光刻胶具有如下优势:
- 优异的分辨率性能
- 快速地显影
- 可以通过调节曝光能量很容易地调节倒梯形侧壁的角度
- 耐受温度100℃
- 室温储存保质期长达3 年
NR9-250P
20.有没有光刻胶PC3-6000的资料吗?
A PC3-6000并不是光刻胶,它是用在chip
on glass 上的胶粘剂。
21.是否有Wax替代品?
A PC3-6000可替代Wax做晶片和玻璃的固定,比较容易去除掉。
22.贵公司是否有粘接硅衬底和衬底的材料?
A 有,IC1-200就是
23.请问是否有不用HMDS步骤的正性光刻胶?
A 美国Futurrex 整个系列的光刻胶都不需要HMDS步骤,都可以简化。
24.一般电话咨询光刻胶,我们应该向客户咨询哪些资料?
A 1 需要知道要涂在什么材质上,2
还有要知道需要做的膜厚,3
还要知道光刻胶的分辨率
4还有需要正胶还是负胶,5
需要国产还是进口的
27.想找一款膜厚在120um,的光刻胶,有什么光刻胶可以做到啊!
A 以前有使用过美国有款光刻胶可以达到Futurrex
NR21-20000P ,。
28.有没有了解一款美国Futurrex
NR9-250P的光刻胶,请教下?
A 这是一款负性光刻胶,湿法蚀刻使用的,附着力很好,耐100度的温度,国内也有可以代理的公司,Futurre
光刻胶是世界第4大的电子化学品制造商,在光刻胶的领域有着不错的声誉,在太阳能光伏,和LED半导体行业都有不错的市场占有率。
29.想找款膜厚的产品,进行蚀刻,有什么好推荐?
A 厚膜应用(thick
film applicati),主要是指高纵横比(Aspect
ratios),高分辨率,高反差,有几款产品向你推荐一下《NR4-8000P,NR2-20000P,NR5-8000,这些产品都需要用到边胶清洗液》
的光刻
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