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北京赛米莱德贸易有限公司

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第7年 |    
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NR9 1500PY光刻胶厂家***「多图」

发布时间:2022-05-08 02:33:00        作者:赛米莱德







光刻胶编码

HS编码:


3707100001 [类注] | [章注] | [子目注释]

中文描述: 不含银的感光乳液剂 (CIQ码:301:液体)
英文描述: Non--0--silver light-sensitive emulsion agent
申报要素: 0.品牌类型;1.出口享惠情况;2.用途;3.包装;正胶PR1-2000A1技术资料正胶PR1-2000A1是为曝光波长为365或者436纳米,可用于晶圆步进器、扫描投影对准器、近程打印机和接触式打印机等工具。4.成分;5.是否含银;6.品牌;7.型号;8.是否有感光作用(以下要素仅上海海关要求)9.GTIN;10.CAS
申报要素举例: / 1.感光剂;2.用途:感光材料,用于喷墨制版机;3.包装:瓶装;4.成分:重氮树脂94%以上;5.无品牌;6.无型号
单位: 千克


NR9-3000PYNR9 1500PY光刻胶厂家

二、预烘和底胶涂覆(Pre-bake and Primer Vapor)

由于光刻胶中含有溶剂,所以对于涂好光刻胶的硅片需要在80度左右的。硅片脱水烘焙能去除圆片表面的潮气、增强光刻胶与表面的黏附性、通常大约100 °C。这是与底胶涂覆合并进行的。

底胶涂覆增强光刻胶(PR)和圆片表面的黏附性。广泛使用: (HMDS)、在PR旋转涂覆前HMDS蒸气涂覆、PR涂覆前用冷却板冷却圆片。


光刻胶

光刻胶由光引发剂、树脂、溶剂等基础组分组成,又被称为光致抗蚀剂,这是一种对光非常敏感的化合物。国内企业的光刻胶产品目前还主要用于PCB领域,代表企业有晶瑞股份、科华微电子。此外,光刻胶中还会添加光增感剂、光致产酸剂等成分来达到提高光引发效率、优化线路图形精密度的目的。在受到紫外光曝光后,它在显影液中的溶解度会发生变化。

分类

根据光刻胶按照如何响应紫外光的特性可以分为两类。

正胶

曝光前对显影液不可溶,而曝光后变成了可溶的,能得到与掩模板遮光区相同的图形。

优点:分辨率高、对比度好。

缺点:粘附性差、抗刻蚀能力差、高成本。

灵敏度:曝光区域光刻胶完全溶解时所需的能量

负胶egative






Photo Resist)

与正胶反之。

优点: 良好的粘附能力和抗刻蚀能力、感光速度快。

缺点: 显影时发生变形和膨胀,导致其分辨率。

灵敏度:保留曝光区域光刻胶原始厚度的50%所需的能量。


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